半導(dǎo)體設(shè)備作為小批量、多品種、工藝復(fù)雜和精密度高的高端制造設(shè)備，其內(nèi)部所用的精密零部件同樣繼承了這些屬性。隨著AI芯片需求繼續(xù)市場(chǎng)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)晶圓廠設(shè)備的投資仍在加大。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，去年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額同比增長(zhǎng)10%，中國(guó)地區(qū)更是暴漲35%。機(jī)構(gòu)預(yù)計(jì)2025年全球總投資規(guī)模會(huì)突破新高，半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件也隨之沾光。

全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)銷(xiāo)售額地區(qū)分布 / SEMI

根據(jù)弗若斯特沙利文報(bào)告，預(yù)計(jì)2025年半導(dǎo)體精密零部件行業(yè)的全球市場(chǎng)規(guī)模約為4288億元，其中，得益于供應(yīng)鏈本土化進(jìn)程的加速，中國(guó)市場(chǎng)的增速顯著高于全球市場(chǎng)水平，預(yù)計(jì)2025年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件市場(chǎng)規(guī)模約為人民幣1384億元。 

由此看來(lái)，應(yīng)該有不少半導(dǎo)體精密零部件企業(yè)吃到了這一波紅利，但令不少精密制造企業(yè)遲疑的點(diǎn)在于，他們現(xiàn)在沖進(jìn)這一市場(chǎng)，還能吃下多少訂單？

01      精密制造企業(yè)   進(jìn)軍半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的契機(jī)到了嗎？  

過(guò)去，精密制造企業(yè)對(duì)于半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)多持謹(jǐn)慎觀望的態(tài)度，因?yàn)槠浔劝雽?dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)更加碎片化，技術(shù)門(mén)檻還高。此前，有半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)的精密制造企業(yè)，往往專(zhuān)注于某一細(xì)分工藝或產(chǎn)品，可也只能收獲較小的市場(chǎng)，所以資本投入動(dòng)力不足。

可隨著半導(dǎo)體制造投入的資本熱情持續(xù)高漲，一些廠商訂單爆滿的消息很快就傳到了這些精密制造企業(yè)家們的耳朵里。相比起供需關(guān)系惡化、競(jìng)爭(zhēng)廠商已經(jīng)卷到天際的消費(fèi)電子和新能源汽車(chē)市場(chǎng)，半導(dǎo)體設(shè)備廠商看起來(lái)是一群相當(dāng)優(yōu)質(zhì)的客戶。

要知道，雖然半導(dǎo)體設(shè)備廠商對(duì)其所選用的精密零部件要求極為苛刻，可一旦確定合作關(guān)系，往往會(huì)長(zhǎng)期深度綁定；且一旦被全球主流設(shè)備參加認(rèn)證，行業(yè)內(nèi)的其他廠商也會(huì)聞?dòng)嵡皝?lái)開(kāi)展合作，所以對(duì)于半導(dǎo)體零部件企業(yè)而言，他們拼的不只是加工實(shí)力，還有客戶資源。空談無(wú)用，讓我們看看一些早已進(jìn)軍半導(dǎo)體零部件制造的上市企業(yè)表現(xiàn)如何。

富創(chuàng)精密：國(guó)內(nèi)重點(diǎn)客戶營(yíng)收同比增長(zhǎng)超80%，扣非凈利潤(rùn)增長(zhǎng)98.61%

  機(jī)械類(lèi)半導(dǎo)體零部件 / 富創(chuàng)精密  

作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體，其已經(jīng)進(jìn)入國(guó)際知名半導(dǎo)體龍頭設(shè)備商的供應(yīng)鏈中，同時(shí)也贏得了國(guó)內(nèi)主流半導(dǎo)體設(shè)備廠商客戶。相比起行業(yè)內(nèi)大多數(shù)企業(yè)只專(zhuān)注于特定零部件的制造，富創(chuàng)精密已經(jīng)可以完成多種半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的生產(chǎn)制造。根據(jù)其2024年度業(yè)績(jī)快報(bào)所示，其2024年總營(yíng)收達(dá)30.42億元，同比增長(zhǎng)47.24%，國(guó)內(nèi)重點(diǎn)客戶營(yíng)收同比增長(zhǎng)超80%；扣非凈利潤(rùn)1.72億元，同比增長(zhǎng) 98.61%。

江豐電子：半導(dǎo)體設(shè)備零部件成第二大業(yè)務(wù)，同比營(yíng)收增長(zhǎng)55.53%

作為濺射靶材的主要供應(yīng)商之一，江豐電子憑借其在半導(dǎo)體材料市場(chǎng)積累的經(jīng)驗(yàn)，開(kāi)辟了半導(dǎo)體設(shè)備零部件這一第二成長(zhǎng)曲線，來(lái)自客戶的主要需求包括制造半導(dǎo)體設(shè)備所需的零部件，以及維護(hù)替換所需的零部件。從其2024年年報(bào)來(lái)看，其2024年總營(yíng)收達(dá)到36.05億元，同比增長(zhǎng)38.57%，扣非凈利潤(rùn)達(dá)3.04億元，同比增長(zhǎng)94.92%。

先鋒精科：半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)替代加速，營(yíng)收同比增長(zhǎng)103.72%  

等離子體刻蝕設(shè)備 / 中微半導(dǎo)體設(shè)備

先鋒精科聚焦于半導(dǎo)體刻蝕和薄膜沉積設(shè)備關(guān)鍵零部件的精密制造，也是國(guó)內(nèi)少數(shù)已量產(chǎn)供應(yīng)7納米及5納米國(guó)產(chǎn)刻蝕設(shè)備關(guān)鍵零部件的供應(yīng)商。據(jù)其年度業(yè)績(jī)快報(bào)所示，得益2024年全球半導(dǎo)體行業(yè)資本開(kāi)支步入上行周期，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額已率先實(shí)現(xiàn)上升，半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)替代加速。其2024年總營(yíng)收達(dá)到11.36億元，同比增長(zhǎng)103.72%，扣非凈利潤(rùn)達(dá)到2.17億元，同比增長(zhǎng)172.29%。

除了這些提供一站式制造的上市企業(yè)外，還有不少精密制造企業(yè)也都紛紛參與到半導(dǎo)體設(shè)備零部件的加工生產(chǎn)中來(lái)，比如托倫斯精密制造、德瑪克精工、金智捷、兆恒機(jī)械、東匯精密機(jī)電、志橙半導(dǎo)體、傳晨精密等。

半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件 / 金智捷

畢竟在各種半導(dǎo)體精密零部件的所占市場(chǎng)份額中，金屬工藝件、金屬結(jié)構(gòu)件和非金屬結(jié)構(gòu)件等機(jī)械類(lèi)零部件的占比最高，不少精密制造企業(yè)在現(xiàn)有的加工實(shí)力下，也能入局腔體、勻氣盤(pán)、托盤(pán)、冷卻板、靜電卡盤(pán)、陶瓷件等零部件的生產(chǎn)制造。從國(guó)產(chǎn)替代的角度來(lái)看，這一市場(chǎng)還有不少訂單等待精密制造企業(yè)發(fā)掘，但在此之前，也必須要估量一下自己的加工實(shí)力。

02      加工設(shè)備投入同樣重要  

半導(dǎo)體零部件一般都是多品種、加工精度要求高的產(chǎn)品，對(duì)生產(chǎn)這些零部件的原材料及加工裝備要求高并且價(jià)格昂貴。此外，由于我國(guó)工業(yè)受長(zhǎng)期形成的“重主機(jī)、輕配套”的思想影響，對(duì)零部件上下游配套領(lǐng)域的投入力度嚴(yán)重不足，導(dǎo)致我國(guó)在零部件的原材料和生產(chǎn)裝備上就與國(guó)外拉開(kāi)差距。我國(guó)半導(dǎo)體金屬零部件加工產(chǎn)線在加工精度、加工穩(wěn)定性、幾何靈活度等方面都落后于國(guó)外。

不過(guò)隨著從2020年開(kāi)始，中國(guó)加大對(duì)半導(dǎo)體本土制造的投入，連續(xù)多年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備訂單節(jié)節(jié)攀升，2024-2025年更是迎來(lái)了國(guó)外芯片原廠紛紛來(lái)國(guó)內(nèi)部署半導(dǎo)體產(chǎn)能，半導(dǎo)體設(shè)備需求再創(chuàng)新高，催生了更多用于半導(dǎo)體零部件加工的高端機(jī)床訂單。

察覺(jué)到這一趨勢(shì)，越來(lái)越多的機(jī)床廠商開(kāi)始推出針對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域加工的專(zhuān)用機(jī)種，或是展示相關(guān)的應(yīng)用案例。比如通快針對(duì)晶圓切割、鉆孔推出的激光切割機(jī)，山崎馬扎克、兄弟機(jī)床、大隈推出針對(duì)真空腔體、傳動(dòng)元件制造的五軸復(fù)合加工機(jī)床，牧野、三菱針對(duì)半導(dǎo)體封裝模具加工推出的電火花加工機(jī)等等。面對(duì)半導(dǎo)體精密零部件備高精密性、高潔凈度、超強(qiáng)抗腐蝕能力、耐擊穿電壓等特點(diǎn)，精密加工設(shè)備和特種表面處理設(shè)備的投入可以說(shuō)是必不可少。

FJV-60/80 FSW / 山崎馬扎克

以山崎馬扎克的FJV-60/80 FSW機(jī)床為例，就創(chuàng)新性地將高精度加工中心和摩擦攪拌焊結(jié)合在一起，不需要添加加工材料以外的焊材也能實(shí)現(xiàn)焊接。在半導(dǎo)體設(shè)備冷卻板的加工過(guò)程中，這款2020年發(fā)布的機(jī)床已經(jīng)成了不少零部件企業(yè)的主力設(shè)備。

JDHGMG600 / 北京精雕

針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備中一些脆性材料零部件加工的場(chǎng)景，也有不少?gòu)S商推出了解決方案。比如在剛結(jié)束不久的2025 ITES深圳工業(yè)展上，北京精雕就展示了其JDHGMG600三軸高速磨削中心加工的噴淋盤(pán)工件；發(fā)那科也帶來(lái)了基于ROBODRILL加工中心打造的氧化鋯晶圓吸盤(pán)高效加工方案展示。

ROBODRILL小型加工中心 / 發(fā)那科

此外，針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備零部件中的不銹鋼等材料，牧野也帶來(lái)了DA500這一高性能5軸立式加工中心方案，顯著減少各種非切削時(shí)間，包括主軸加速、定位、換刀、刀具破損檢測(cè)以及托盤(pán)更換時(shí)間，從而提升了整體加工效率。

2025 ITES深圳工業(yè)展現(xiàn)場(chǎng)圖  

半導(dǎo)體行業(yè)作為ITES深圳工業(yè)展持續(xù)關(guān)注的高端制造行業(yè)，每年都會(huì)攜展商帶來(lái)針對(duì)半導(dǎo)體及半導(dǎo)體制造非標(biāo)設(shè)備加工的高端裝備和自動(dòng)化解決方案，今年也吸引了華星光電、比亞迪半導(dǎo)體、中微半導(dǎo)體、先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備、大族半導(dǎo)體裝備等企業(yè)赴展參觀。

2026 ITES深圳工業(yè)展將于明年3月31日至4月3日盛大啟幕，歡迎更多半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)來(lái)現(xiàn)場(chǎng)尋找加速產(chǎn)能擴(kuò)張的最優(yōu)解，也歡迎更多高端裝備企業(yè)攜對(duì)應(yīng)行業(yè)的解決方案亮相！

（ITES深圳工業(yè)展）

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